“ เวเฟอร์เสี่ยง” คืออะไร?


13

ในการผลิตวงจรรวมฉันพบคำว่า "เวเฟอร์เสี่ยง" ซึ่งดูเหมือนว่าจะแตกต่างจากเวเฟอร์ "ปกติ" แต่ฉันไม่สามารถหาข้อมูลออนไลน์ในสิ่งที่เสี่ยงต่อการเวเฟอร์

คำตอบ:


17

เมื่อคุณปล่อยการออกแบบสู่การผลิตเช่นการตัดเทปการแตกหัก (การสร้างหน้ากาก) จากนั้นล็อตจะเริ่มสิ่งที่เป็นเรื่องปกติคือคุณเริ่มล็อต ES (ตัวอย่างทางวิศวกรรม) ที่เล็กกว่าการผลิตเต็มจำนวน (25) ขนาดของ ล็อต ES นี้ขึ้นอยู่กับ fab แต่โดยทั่วไปแล้ว 12 หรือมากกว่านั้น จากนั้นให้คุณถือแผ่นเวเฟอร์ตามจุดต่างๆในกระบวนการ คุณเริ่มต้นด้วยเวเฟอร์ 12 ชิ้น แต่มีสามชิ้นที่ฟันเทียมและอีก 3 ตัวจะถูกจับที่ประตูโพลีเอตช์จากนั้นอีก 3 ชิ้นจะถูกยึดไว้ที่โลหะ 1 ซึ่งทำให้ 3 สุดท้ายผ่านไปจนถึงขั้นตอนสุดท้าย

การทำเช่นนี้จะเกิดขึ้นถ้าหากคุณพบปัญหาในขั้นตอนต่าง ๆ คุณสามารถแก้ไขปัญหาได้จากนั้นเริ่มต้นการทำเวเฟอร์หลังที่ค้างไว้เหล่านี้และไม่เกิดความล่าช้าอีกต่อไป นอกจากนี้มันไม่สมเหตุสมผลที่เวฟ 25 เวฟซึ่งเป็นเศษเหล็ก

คุณไม่สามารถหยุดเวเฟอร์เพียงครั้งเดียวได้เนื่องจากขั้นตอนการประมวลผลหลายครั้งทำเวเฟอร์หลายครั้ง (พูด 6 หรือ 3 หรือ 4) ดังนั้นหากคุณหยุดเวเฟอร์เพียงครั้งเดียว การประมวลผลใส่ลงในมันเป็นสถานที่ Fabs ไม่ชอบการสูญเสียกำลังการผลิตในเศษเหล็ก

จำนวนที่ถืออยู่ที่การหยุดแต่ละครั้งจะขึ้นอยู่กับเครื่อง (3 เวเฟอร์หรือ 4 เวเฟอร์ ฯลฯ ที่ศูนย์เครื่องจักรนั้น)

"เวเฟอร์เสี่ยง" ที่คุณพูดถึงอาจเป็นล็อตแรกของ 3 ที่ทำให้ผ่าน ES ด้วยการหยุดหรือถือครองในสถานที่ต่าง ๆ สำหรับเวเฟอร์อื่น ๆ ในล็อต คนแรกที่ผ่าน "ความเสี่ยง" ไกล เวเฟอร์ที่จัดขึ้นตามสถานที่ต่าง ๆ นั้นอาจจะไม่ได้รับความเสี่ยงดังนั้นจึงอาจไม่ถือว่าเวเฟอร์เสี่ยง แม้ว่าบางคนจะคิดว่า fabs

และสุดท้ายในบาง fabs การทำเวเฟอร์ที่ไม่ผ่านการรับรองจะถือว่าเป็นเวเฟอร์เสี่ยง

ดังนั้นคำจะขึ้นอยู่กับ fab ที่คุณใช้

คำแนะนำหมวกสำหรับ @bdegnan ที่ชี้ให้เห็นว่าในบาง fabs คำว่า "wafer risk" เป็นสิ่งหนึ่งที่สละสิทธิ์กระบวนการและได้รับการร้องขอ ดังนั้นอาจขอให้มีการเปลี่ยนแปลงในขั้นตอนกระบวนการปริมาณหรือเพิ่ม stapes ใหม่ (ที่ยังไม่ผ่านการรับรอง) หรือแม้แต่การสละสิทธิ์ DRC (ตรวจสอบกฎการออกแบบ) บันทึกสิ่งนี้จากความคิดเห็น


เราได้รับสติ๊กเกอร์ "เสี่ยงเวเฟอร์" เมื่อเราขอ DRC และแผ่นเวเฟอร์ยาสลบ ตัวอย่างเช่นหากคุณต้องการสร้าง MESFET ในกระบวนการ CMOS มาตรฐานคุณจะต้องทำลายกฎที่ไม่สำคัญมากพอที่จะรับค่าสถานะแม้ว่าคุณจะไม่ "ทำลาย" กฎใด ๆ ก็ตาม
b degnan

@bdegnan คุณควรเพิ่มเป็นคำตอบแยกต่างหากฉันลืมเพิ่มด้านนั้น จุดดี!
ตัวยึด

คุณโดนมันมากดังนั้นฉันไม่คิดว่า errata เดียวของฉันก็เพียงพอสำหรับคำตอบที่เหมาะสม
b degnan

1
@bdegnan แก้ไขและเพิ่มลงในคำตอบของฉันพร้อมด้วยการระบุแหล่งที่มา ความคิดเห็นจะถูกนำไปขัดเกลาดังนั้นข้อมูลสำคัญจึงต้องโยกย้ายไปยังฟิลด์คำตอบ
ตัวยึด

@placeholder: คุณช่วยอธิบายได้ไหมว่า "การเรียกใช้เวเฟอร์ที่ไม่มีคุณสมบัติ" คืออะไร
Fritz
โดยการใช้ไซต์ของเรา หมายความว่าคุณได้อ่านและทำความเข้าใจนโยบายคุกกี้และนโยบายความเป็นส่วนตัวของเราแล้ว
Licensed under cc by-sa 3.0 with attribution required.