ฉันรู้ว่าตัวสร้างรูปแบบนั้น เครื่อง (ไม่มีตัวสร้างรูปแบบ ซอฟต์แวร์ ) เป็นสิ่งจำเป็นในการสร้างระบบสัญญาณรุ่นที่ช่วยให้คุณใช้การเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอนสำหรับการพิมพ์ผิวเวเฟอร์โดยใช้ TEM สัญญาณเหล่านี้เรียกว่าแม่แบบ รูปแบบ และสร้างขึ้นโดยส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่ไม่รู้จักบางอย่างภายในเครื่องกำเนิดแบบอาจมีเครื่องขยายเสียงหรือออสซิลเลเตอร์
ฉันไม่เข้าใจ สิ่งที่ระบบการปรับ อนุญาตให้ใช้สัญญาณ "ขับรถ" นี้ระหว่างอุปกรณ์ต่าง ๆ (TEM, ตัวสร้างรูปแบบ, คอมพิวเตอร์ .. ) เพื่อสร้างอย่างถูกต้อง แม่แบบรูปแบบ สำหรับการพิมพ์ครั้งสุดท้ายบนเวเฟอร์?
ไปยัง พิมพ์ โครงการชิปจากการออกแบบ (ซอฟต์แวร์) คุณจำเป็นต้องสร้างการมอดูเลตเพื่อสื่อสารกับอุปกรณ์ตัวสร้างรูปแบบและอุปกรณ์ตัวสร้างรูปแบบนี้จำเป็นต้องสื่อสารกับ TEM แต่คุณยังต้องมีการปรับ บอก TEMP ควรพิมพ์อะไรและ อย่างไร ปริ้น
การมอดูเลตประเภทใดหรือระบบ / ส่วนประกอบใดที่ใช้เพื่อปรับสัญญาณที่แตกต่างกันระหว่างอุปกรณ์นี้
จริง พวกเราต้อง ผลิต การรบกวน ก่อน
ไม่สามารถอธิบายการเลี้ยวเบนได้โดยใช้มุมมองของอนุภาคของแสง (เลนส์เชิงเรขาคณิตหรือรังสี) มันต้องใช้การตีความคลื่น (กายภาพเลนส์) ตามที่ภาพใด ๆ ที่เป็นรูปแบบการรบกวนจริงที่เกิดขึ้นจากรังสีแสงที่ใช้เส้นทางที่แตกต่างกันไปถึงจุดเดียวกันในภาพ
แต่ ยังก่อน การสร้างสัญญาณรบกวนนี้จะมีอิเล็กตรอนการเลี้ยวเบนที่ถูกต้องที่ใช้ในการพิมพ์ลวดลายบนแผ่นเวเฟอร์ (เราใช้ระบบ TEM) คุณต้องการ แก้ไข การปรับ .
ตรวจสอบการสร้างสัญญาณอะไรและอย่างไรหากระบบการปรับนี้ถูกต้องเพื่อให้แน่ใจว่าอุปกรณ์เข้าใจกัน?
หนึ่งในเทคนิคใช้สิ่งที่ชอบ Electron backscatter diffraction