ตัวกรองไบเออร์ผลิตอย่างไร?

จากคำถามก่อนหน้านี้เกี่ยวกับตัวกรองไบเออร์ฉันสงสัยว่า:

พวกเขาผลิตอย่างไร พวกเขาใช้สีย้อมจำนวนเล็กน้อยกับแต่ละพิกเซลย่อยอย่างไร

การเดาที่ดีที่สุดของฉันคือการแกะสลักทางเคมีแบบออพติคอลตามด้วยอ่างย้อมสี (ต่อสี)

sensor bayer manufacturing

— Lightcraft ดิจิตอล
แหล่งที่มา

en.wikipedia.org/wiki/Color_filter_arrayมีส่วนหนึ่งเกี่ยวกับกระบวนการผลิต

— dav1dsm1th

เป็นจุดที่ดี! @ dav1dsm1th - วิกิตัวกรองไบเออร์ตัวจริงที่แปลกประหลาดทำให้ไม่ต้องพูดถึงกระบวนการฉันจะได้อ่าน ...

— Digital Lightcraft

จากนามธรรมของบทความนี้ชุดฟิลเตอร์สีสำหรับเซ็นเซอร์รับภาพ CCD และ CMOS โดยใช้โฟโตริสต้าบวกสีย้อมสีที่ได้รับการแก้ไขทางเคมีด้วยความร้อนสำหรับการพิมพ์หิน 365 นาโนเมตร

Diazonaphthoquinone-novolak photoresist ใช้ในการผลิตตัวกรองเหล่านี้โดยการวางอย่างต่อเนื่องและการจัดรูปแบบแต่ละชั้นสี

ความเข้าใจของฉันเกี่ยวกับคำพูดนี้เป็นกระบวนการที่มีดังนี้

photoresist (โพลีเมอร์และตัวแทนที่ไวต่อความรู้สึกที่ค่อนข้างโปร่งใสในการมองเห็น แต่การดูดซับอย่างมากใน UV เริ่มต้นที่ 450nm) ด้วยสีย้อมเพิ่มเติม (สีแดง, สีเขียวหรือสีฟ้า) วางลงบนพื้นผิวเซ็นเซอร์
หน้ากากโลหะลวดลายวางอยู่เหนือช่างภาพ
พื้นที่ที่ไม่มีการเปิดโปงของนักถ่ายภาพนั้นถูกเปิดเผยโดยแหล่งกำเนิดแสงยูวีซึ่งเปลี่ยนเป็น diazonaphthoquinone
หน้ากากจะถูกลบออก
photoresist ที่สัมผัสถูกละลายด้วยตัวทำละลายน้ำพื้นที่ unexposed ไม่ละลายตามที่พร้อมจึงยังคง
1-5 ซ้ำโดยใช้สีย้อมต่าง ๆ และมาสก์ที่แตกต่างกัน

ดูen.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinoneสำหรับคำอธิบายวิธีการทำงานของช่างภาพ

— Brian Kubera
แหล่งที่มา

ฉันสงสัยว่าควรจะมีขั้นตอนการอบอย่างใดอย่างหนึ่งระหว่างวันที่ 5 และ 6 หรือหลังวันที่ 6 นอกจากนี้ยังอาจจะมีขั้นตอนการอบระหว่างวันที่ 1 และ 2

— ไบรอัน Kubera

Nice link - อย่างไรก็ตามบทความนี้มีอายุ 16 ปีดังนั้นเมื่อเพิ่มความหนาแน่นของชิป ccd / cmos ขึ้นอย่างมากตั้งแต่นั้นสิ่งนี้อาจไม่ใช่วิธีปัจจุบัน ... ตัวอย่างเช่นมันเป็นไปได้ในทางกายภาพที่จะสร้างหน้ากากโลหะที่ดีพอสำหรับ ชิปวันนี้?

— Lightcraft ดิจิทัล

มันเพิ่มขึ้นอย่างมากหรือไม่? ฉันคิดว่าความหนาแน่นของพิกเซลเพิ่มขึ้นประมาณ 10 เท่าดังนั้นขนาดของคุณสมบัติเชิงเส้นจึงต้องลดลงเพียง 3 เท่าอย่างไรก็ตามคุณอาจถูกต้องในการชี้ให้เห็นว่าการวางหน้ากากโดยตรงเหนือช่างถ่ายภาพนั้นน่าจะเป็น ไม่ใช่ว่ามันทำ มันเป็นเช่นนั้นมากกว่าที่มาสก์จะถูกถ่ายภาพลงบน photoresist และลดลงพร้อมกันตามความจำเป็นในการออกแบบอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ของเซ็นเซอร์ ฉันจะแก้ไขคำตอบเพื่อสะท้อนถึงสิ่งนี้

— Brian Kubera

หลังจากพิจารณาเพิ่มเติมแล้วฉันคิดว่ารูปแบบการติดต่อดังที่ฉันอธิบายไว้ครั้งแรกมีแนวโน้มที่จะถูกนำไปใช้ในการทำลวดลายฟิลเตอร์สี ความละเอียดของหน้ากากโลหะสามารถทำได้ดีกว่า 100nm ขนาดพิกเซลอยู่ในลำดับที่ 1um

— Brian Kubera

สิ่งหนึ่งที่ฉันยังไม่ได้รวมคือการก่อตัวของอาร์เรย์ไมโครเลนส์ซึ่งถ้ามีสามารถแยกหรือรวมส่วนของฟิลเตอร์สี

— Brian Kubera